科毅半自动显影机搭载 AC 伺服马达与高精度转速控制，结合自动供料与喷嘴系统，可进行光阻显影、清洗及氮气干燥，并透过 PLC + 触控面板管理多组 Recipe，确保稳定与重复性。

科毅半自动显影机结合自动化与人性化设计，具备 SEMI 通讯架构、实时监控系统与安全保护机制，操作上兼顾灵活性与稳定性。其马达驱动承盘系统提供高精度旋转与低平坦度误差，搭配自动供料与喷液模块，能有效提升制程一致性。相比全自动系统，半自动机型在降低成本的同时，仍保有高效率与可靠性，适合作为量产与研发间的平衡方案。

科毅半自动显影机透过自动控制显影时间、液流速度与搅拌方式，使每片晶圆获得相同的处理条件，避免手动操作造成的过显、欠显与线宽变异。自动化流程取代人工计时与搅拌，能有效减少操作差异，使制程结果更可预测，有助于建立标准化的显影流程。保留人工放片、材料切换等操作，加上程序化显影控制，让研发人员既能快速调整条件，也能维持稳定成果，是研发与小量产的理想平衡。操作接口清楚、流程简化，能避免人工长时间搅拌或监控，提高工作效率与安全性。比全自动系统成本更低，结构耐腐蚀、保养容易，能长期稳定使用且维修成本低。

产品规格

• 骨架：SUS 外壳WPP
• 马达规格：AC Servo Motor
• 马达转速：10-3000 RPM
• 转速精度：等速+/-1%
• 喷嘴机构：自动供料及喷嘴*2set for 显影液,
• 自动供料及喷嘴*2set for DIW & N2
• 适用晶圆尺寸：2”-8”
• 承盘机构：陶瓷/耐酸碱功能, 45度导角防止PR渗透
• 承盘平坦度：<10um
• 操作方式：自动给料
• 控制系统：PLC+Touch Panel, 30组可设定Recipe模块
• 安全装置：承盘真空渗液保护, 真空检知, 漏电断路保护

产品配备

• 主轴旋转马达
• 承盘机构
• 控制系统
• 安全装置
• 液体/空压承载系统

产品选配

• SEMI 设备通讯架构
• 自动取放手臂架构
• 实时监控系统

应用产业

• 适用于 2 吋至 8 吋晶圆或基板之光阻显影制程
• 半导体制造
• 光电面板
• MEMS 与微影实验室等场域
• 特别适合中小量试产与研发需求