M&R के सेमी-ऑटोमैटिक डेवलपर में एक एसी सर्वो मोटर और उच्च-सटीकता गति नियंत्रण है, जो स्वचालित फीडिंग और नोजल सिस्टम के साथ मिलकर काम करता है। यह फोटोरेसिस्ट विकास, सफाई, और नाइट्रोजन सुखाने का कार्य कर सकता है, और एक पीएलसी और टच पैनल के माध्यम से कई व्यंजनों का प्रबंधन करता है, जिससे स्थिरता और पुनरावृत्ति सुनिश्चित होती है।
M&R का सेमी-ऑटोमैटिक डेवलपर स्वचालन और उपयोगकर्ता-अनुकूल डिज़ाइन को जोड़ता है, जिसमें एक सेमी संचार आर्किटेक्चर, वास्तविक समय की निगरानी प्रणाली, और सुरक्षा संरक्षण तंत्र शामिल हैं, जो संचालन में लचीलापन और स्थिरता का संतुलन बनाता है। इसकी मोटर-चालित ट्रे प्रणाली उच्च-सटीकता घूर्णन और कम समतलता त्रुटि प्रदान करती है, और स्वचालित फीडिंग और स्प्रेइंग मॉड्यूल के साथ मिलकर, यह प्रक्रिया की स्थिरता को प्रभावी ढंग से सुधारती है। पूर्ण स्वचालित प्रणालियों की तुलना में, अर्ध-स्वचालित मॉडल लागत को कम करते हैं जबकि उच्च दक्षता और विश्वसनीयता बनाए रखते हैं, जिससे वे बड़े पैमाने पर उत्पादन और अनुसंधान एवं विकास के बीच एक संतुलित समाधान के रूप में उपयुक्त बनते हैं।
 
M&R के सेमी-ऑटोमैटिक डेवलपर स्वचालित रूप से विकास समय, तरल प्रवाह दर, और उत्तेजना विधि को नियंत्रित करता है ताकि यह सुनिश्चित किया जा सके कि प्रत्येक वेफर को समान प्रसंस्करण स्थितियाँ प्राप्त हों, जिससे ओवर-डेवलपमेंट, अंडर-डेवलपमेंट, और मैनुअल ऑपरेशन के कारण होने वाले लाइनविथ भिन्नताओं से बचा जा सके। स्वचालित प्रक्रियाएँ मैनुअल समय और हिलाने की जगह ले लेती हैं, जिससे संचालन में भिन्नता को प्रभावी ढंग से कम किया जा सकता है, प्रक्रिया के परिणामों को अधिक पूर्वानुमानित बनाया जा सकता है, और मानकीकृत विकास प्रक्रियाओं की स्थापना को सुविधाजनक बनाया जा सकता है। हाथ से फिल्म लोड करने और सामग्री बदलने को बनाए रखते हुए, प्रोग्राम्ड विकास नियंत्रण के साथ, अनुसंधान और विकास (R&D) के कर्मचारियों को स्थिर परिणामों को बनाए रखते हुए स्थितियों को जल्दी समायोजित करने की अनुमति मिलती है, जो अनुसंधान और विकास और छोटे पैमाने के उत्पादन के बीच एक आदर्श संतुलन प्राप्त करता है। स्पष्ट उपयोगकर्ता इंटरफ़ेस और सरलित प्रक्रियाएँ लंबे समय तक मैनुअल हिलाने या निगरानी से बचती हैं, जिससे कार्य की दक्षता और सुरक्षा में सुधार होता है। यह पूरी तरह से स्वचालित प्रणालियों की तुलना में अधिक लागत-कुशल है, इसका जंग-प्रतिरोधी ढांचा है, इसे बनाए रखना आसान है, इसे लंबे समय तक स्थिरता से उपयोग किया जा सकता है, और इसके रखरखाव की लागत कम है।

विशेषताएँ

• फ्रेम: SUS आवास, WPP
• मोटर विनिर्देश: एसी सर्वो मोटर
• मोटर गति: 10-3000 RPM
• गति सटीकता: स्थिर गति +/-1%
• नोज़ल तंत्र: स्वचालित फीडर और डेवलपर के लिए 2-सेट नोज़ल, DIW और N2 के लिए 2-सेट स्वचालित फीडर और 2-सेट नोज़ल
• लागू होने वाला वेफर आकार: 2”-8”
• पैड तंत्र: सिरेमिक/अम्ल और क्षारीय प्रतिरोधी, PR प्रवेश को रोकने के लिए 45-डिग्री बेज़ल
• पैड समतलता: <10um
• संचालन विधि: स्वचालित फीडिंग
• नियंत्रण प्रणाली: PLC + टच पैनल, 30 कॉन्फ़िगर करने योग्य रेसिपी मॉड्यूल
• सुरक्षा उपकरण: पैड वैक्यूम लीक प्रोटेक्शन, वैक्यूम डिटेक्शन, लीक सर्किट ब्रेकर प्रोटेक्शन

कॉन्फ़िगरेशन

• स्पिंडल रोटरी मोटर
• बियरिंग तंत्र
• नियंत्रण प्रणाली
• सुरक्षा उपकरण
• तरल/वायवीय बेयरिंग प्रणाली

विकल्प

• SEMI उपकरण संचार आर्किटेक्चर
• स्वचालित पिक-एंड-प्लेस आर्म आर्किटेक्चर
• वास्तविक समय निगरानी प्रणाली

अनुप्रयोग

• 2-इंच से 8-इंच के वेफर्स या सब्सट्रेट्स पर फोटोरेसिस्ट विकास प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त
• सेमीकंडक्टर निर्माण
• ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक पैनल
• MEMS और लिथोग्राफी प्रयोगशालाएँ
• विशेष रूप से छोटे से मध्यम पैमाने के पायलट उत्पादन और अनुसंधान एवं विकास की आवश्यकताओं के लिए उपयुक्त