تلعب آلات تنظيف الرقائق دورًا حيويًا في الحفاظ على نظافة السطح في عمليات أشباه الموصلات والميكرو/نانومتر، وهي معدات لا غنى عنها لضمان جودة مستقرة في الطباعة الضوئية، وترسيب الأفلام الرقيقة، والحفر، والتغليف. الميزة الرئيسية هي الإزالة الفعالة للجزيئات، وأيونات المعادن، والمواد العضوية، وبقايا العمليات من خلال عملية متعددة المراحل تتضمن حلول كيميائية، وتنظيف بالموجات فوق الصوتية، ورش دوار، وتجفيف. يوفر هذا سطح شريحة عالي النظافة، مما يضمن التوحيد والموثوقية في العمليات اللاحقة.

المواصفات

• آلة تنظيف أوتوماتيكية بالكامل بحجم 4-12 بوصة
• آلة تنظيف شبه أوتوماتيكية بحجم 4-12 بوصة
• آلة تنظيف يدوية بحجم 4-12 بوصة

تكوين

• تنظيف الماء النقي تحت ضغط عالٍ (عملية ثنائية السائل)
• تنقية النيتروجين
• التجفيف

خيارات

• FFU (وحدة فلتر المروحة).
• مراقبة فرق الضغط لفلتر الهواء FFU.
• مزيل الاستاتيكية.
• كشف ومراقبة الكهرباء الساكنة.
• مذبذب فوق الصوتي والاتصال.
• صواني قطع العمل غير القياسية متاحة عند الطلب.

تطبيقات

• تنظيف قبل الطباعة الحجرية: يزيل الجسيمات وأيونات المعادن والملوثات العضوية من سطح الرقاقة، مما يضمن تغطية موحدة للمواد الحساسة للضوء ويحسن جودة التعرض.
• تنظيف ما بعد الطباعة الحجرية (بقايا التطوير/النقش): يزيل بقايا المواد الحساسة للضوء بعد التطوير وبقايا النقش، مما يضمن دقة عرض الخط واستقرار العملية.
• تنظيف قبل وبعد ترسيب الأفلام الرقيقة: يُطبق قبل وبعد عمليات PVD وCVD وALD لإزالة الملوثات السطحية وتحسين التصاق الفيلم وتناسقه.
• التنظيف الوسيط في تصنيع الرقائق: ينظف بعد كل خطوة حرجة لمنع تراكم التلوث وتدهور الجودة.
• عملية MEMS وتنظيف الهياكل الدقيقة/النانوية: يزيل البقايا أو علامات التجفيف من الهياكل الدقيقة، مما يحافظ على وظيفة الأجهزة الدقيقة.
• مكونات البصريات والإلكترونيات وتصنيع المستشعرات: يزيل بقايا العمليات، مما يحسن الشفافية البصرية والثبات الكهربائي.