تتضمن ميزات المعدات منصة محاذاة مؤتمتة بالكامل، ومعالجة دفعات مستمرة، ومعلمات تعرض قابلة للبرمجة، وتحكم في استقرار شدة الضوء في حلقة مغلقة، وبيئة تشغيل نظيفة ومختومة، مما يمكنها من الحفاظ على استقرار عالٍ حتى أثناء التشغيل لفترات طويلة. مقارنةً بالتعرض شبه التلقائي أو اليدوي، فإن المعدات المؤتمتة تقضي تمامًا على الأخطاء البشرية، مما يمثل ترقية حاسمة للعمليات الموجهة نحو الإنتاج الضخم.

خوارزمية القناع الآلي لـ M&R هي أحدث جيل من آلة التعرض القائمة بذاتها لـ M&R، مصممة خصيصًا لعمليات الرقائق المتوسطة إلى الكبيرة الحجم. يدعم الألواح من 2 بوصة إلى 12 بوصة، وتكمن قيمته الأساسية في "التحكم عالي الدقة × الأتمتة العالية × استقرار العملية." يدعم الإنتاج الضخم للرقائق المتوسطة إلى الكبيرة الحجم، وهو قطعة معدات حاسمة لعمليات الطباعة الحجرية المتقدمة، مصممة خصيصًا لعمليات الإنتاج الضخم التي تسعى لتحقيق عائد مرتفع، واستقرار عالٍ، وكفاءة عالية.
 
من حيث الدقة، تعتمد المعدات على منصة تحكم كهربائية بالكامل وعالية الدقة XY/Z/Theta. دقة محور XY تصل إلى 0.1 ميكرومتر، وإزاحة محور Z تتجاوز 5 مم، ودقة التعرض تصل إلى 0.8 ميكرومتر. إنه يدمج تقنية الحوسبة البصرية المتقدمة، محققًا دقة محاذاة تتراوح بين 0.5-1.0 ميكرومتر، مما يلبي تمامًا متطلبات نقل الأنماط عالية الدقة. يستخدم جهاز محاذاة القناع الآلي الخاص بـ M&R هيكل إطار فولاذي عالي الصلابة مع نظام لتقليل الاهتزازات لتقليل التداخل البيئي بشكل فعال وضمان استقرار العملية.
 
لضمان الاستقرار خلال الإنتاج الضخم على المدى الطويل، يستخدم جهاز محاذاة القناع الآلي إطارًا فولاذيًا عالي الصلابة مع نظام تخميد الاهتزازات أقل من 2 هرتز، مما يقلل بشكل كبير من تداخل الاهتزازات الخارجية. ويشمل تقنية تعويض خطأ الوتد من WEC، محققًا دقة تسوية تبلغ ±1.0 ميكرومتر، مما يصحح ميل الرقاقة بشكل فعال ويحسن تجانس التعرض. يستخدم تثبيت القناع تصميم ديل عالي القفل، مما يعزز استقرار العملية بشكل أكبر.
 
من حيث الكفاءة، تدعم المعدات رقائق بحجم من 2 بوصة إلى 12 بوصة ويمكن تجهيزها اختيارياً بنظام تغيير القناع الآلي وذراع روبوتية للرقائق. تزيد عمليات المناولة الآلية من الإنتاجية وتقلل من المخاطر البشرية، مما يجعلها مثالية لمتطلبات عمليات الإنتاج الضخم.
 
علاوة على ذلك، يدعم النظام أوضاع تعرض متعددة، بما في ذلك الاتصال بالفراغ، الاتصال الصلب، الاتصال الناعم، والتعرض الفجوي، وهو مزود بهندسة تحكم إلكترونية PLC + IPC + HMI، مما يجعل واجهة المستخدم بديهية وإدارة البيانات سهلة الدمج.
 
آلة المحاذاة الآلية لـ M&R، مع ميزاتها الأساسية من الدقة العالية، والاستقرار العالي، والكفاءة العالية، هي خيار معدات آلية تنافسية للغاية لعمليات الإنتاج الضخم المختلفة في الطباعة الحجرية.

المواصفات

• حجم الرقاقة القابل للتطبيق: 2”～12”
• سكتة XY: 5 مم
• دقة محور XY: محرك 0.1 ميكرون
• سكتة محور Z: >5.0 مم
• دقة محور Z: محرك 1.0 ميكرون
• محور ثيتا: يدعم ضبط دقيق ±3°
• هيكل التسوية: تعويض خطأ إسفين WEC
• دقة التسوية: ±1.0 ميكرون
• إصلاح القناع: تصميم على شكل دنت، ملاءمة شديدة الضيق
• استبدال القناع: شبه تلقائي / يدوي
• دقة التعرض: 0.8 ميكرون
• دقة المحاذاة: 0.5~1.0 ميكرون (محرك كهربائي)
• طريقة المحاذاة: نظام محاذاة قائم على الرؤية
• أنماط التعرض: اتصال فراغي / اتصال صلب / اتصال ناعم / تعرض بفجوة
• نظام التحكم: PLC + شاشة HMI بحجم 7 بوصات + IPC

تكوين

• نظام تسوية WEC
• إطار فولاذي عالي الصلابة لمكافحة الاهتزاز
• تحكم PLC + HMI + IPC

خيارات

• نظام استبدال القناع الضوئي الآلي
• ذراع روبوتية للرقائق
• وحدات بصرية مخصصة

تطبيقات

• عملية الفوتوليثوغرافيا لأشباه الموصلات
• الأجهزة البصرية الإلكترونية (LED، Micro-LED)
• عملية MEMS
• الأجهزة البصرية والليزرية