تتضمن ميزات المعدات تقنية تطوير نفاثة عالية التوحيد، ونظام تعويض كيميائي تلقائي، والتحكم في الوقت والتدفق في حلقة مغلقة، وغرفة نظيفة محكمة الإغلاق، وهيكل مقاوم للمواد الكيميائية، وتصميم معياري يدعم أحجام الرقائق المتعددة.

تُعرف مطور M&R الأوتوماتيكي بالكامل باستقراره العالي، وتوافقه القوي، وقدراته الشاملة على التخصيص، مما يجعله قطعة معدات تنافسية بشكل خاص في الإنتاج الضخم وبيئات البحث والتطوير ذات التناسق العالي. تكمن أكبر فائدة لها في ضمان معالجة كل شريحة تحت ظروف متطابقة من خلال عملية آلية بالكامل بدءًا من تغذية الشريحة، والتطوير، والغسيل، والتجفيف حتى خروج الشريحة، مما يحسن بشكل كبير من اتساق العملية والعائد. بالنسبة للعملاء الذين يتطلبون تحكمًا صارمًا في عرض الخطوط ومعدلات عيوب منخفضة، فإن هذا يقلل بشكل فعال من وقت معايرة العملية ويخفض تكاليف العمالة.
 
M&R تقدم توافقاً واسعاً مع المواد الحساسة للضوء، مما يسمح بإجراء تعديلات على زاوية النفث، وديناميات التطوير، ومعلمات معدل التدفق لتناسب خصائص عملية العملاء - وهو مستوى من التخصيص لا يضاهيه العديد من المعدات المحلية والدولية.
 
تشمل مزايا مطور M&R الأوتوماتيكي بالكامل التنفيذ السريع، والدعم الفني المخصص، والإمداد المستقر من قطع الغيار، وتكاليف أكثر مرونة، وخبرة ناضجة في تكامل المواد الحساسة للضوء. تقوم آلة التطوير الآلية بالكامل بحل المشكلات مثل عدم استقرار التطوير اليدوي، وتدفق السائل غير المتساوي، وخط العرض الزائد، وصعوبة تكرار العملية. بالنسبة لمصانع الإنتاج الضخم، وتصنيع MEMS، وصناعة المكونات البصرية الإلكترونية وأجهزة الاستشعار، فإنها الخيار الأفضل الذي يجمع بين الأداء والتكلفة والموثوقية.

المواصفات

• الإطار: هيكل SUS، WPP
• مواصفات المحرك: محرك سيرفو AC
• سرعة المحرك: 10-6000 دورة في الدقيقة، مع دافعة منخفضة السرعة
• دقة السرعة: سرعة ثابتة +/-1%
• آلية الفوهة: 3 مجموعات من فوهات الرش السائلة، وحدة فوهة الرش على الذراع
• حجم الرقاقة القابل للتطبيق: 2”-8”
• آلية الوسادة: مقاومة للسيراميك/الحمض والقلويات، حافة بزاوية 45 درجة لمنع اختراق PR
• استواء الوسادة: <10um
• تكوين ذراع الروبوت: وحدة ناقل مزدوج الذراع
• طريقة التشغيل: تغذية ذراع تلقائية
• نظام التحكم: ذراع متحرك على محور X-Y، PLC + لوحة لمس، وحدة تحكم صناعية (IPC + IO)، 100 وحدة وصفة قابلة للتكوين
• أجهزة السلامة: إيقاف طارئ EMO/جرس، حماية أمان التشغيل التلقائي، حماية تسرب فراغ الوسادة، كشف الفراغ

تكوين

• محرك دوار للمغزل
• آلية تحمل اللوحة
• نظام التحكم
• أجهزة السلامة
• نظام المحامل السائلة/الهوائية
• ذراع روبوتية
• بنية تحديد موقع الرقاقة

خيارات

• بنية اتصالات معدات SEMI
• نظام المراقبة في الوقت الحقيقي

تطبيقات

• مناسب لبيئات الإنتاج عالية الحجم للأقراص أو الركائز من 2 بوصة إلى 8 بوصات.
• يستخدم على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات، والإلكترونيات الضوئية، وMEMS، وعمليات الطباعة الحجرية الدقيقة.
• حرج بشكل خاص للإنتاج الضخم ومراقبة الجودة على خطوط الإنتاج.