Las características del equipo incluyen tecnología de desarrollo de chorro de alta uniformidad, un sistema automático de compensación química, control de tiempo y flujo en bucle cerrado, una cámara limpia sellada, una estructura resistente a productos químicos y un diseño modular que soporta múltiples tamaños de obleas.

El desarrollador totalmente automático de M&R es conocido por su alta estabilidad, fuerte compatibilidad y amplias capacidades de personalización, lo que lo convierte en un equipo particularmente competitivo en entornos de producción en masa y de I+D de alta consistencia. Su mayor beneficio radica en garantizar que cada oblea se procese en condiciones idénticas a través de un proceso completamente automatizado, desde la alimentación de la oblea, el desarrollo, el lavado, el secado hasta la salida de la oblea, mejorando significativamente la consistencia del proceso y el rendimiento. Para los clientes que requieren un control estricto del ancho de línea y bajas tasas de defectos, esto efectivamente acorta el tiempo de calibración del proceso y reduce los costos laborales.
 
M&R ofrece una amplia compatibilidad con fotoresistencias, lo que permite ajustes en el ángulo de chorro, dinámicas de desarrollo y parámetros de caudal para adaptarse a las características del proceso del cliente, un nivel de personalización que no tiene igual en muchos equipos nacionales e internacionales.
 
Las ventajas del desarrollador totalmente automático de M&R incluyen una implementación rápida, soporte técnico personalizado, suministro estable de piezas de reparación, costos más flexibles y una experiencia consolidada en la integración de fotoresistencias. Su máquina de desarrollo totalmente automatizada resuelve eficazmente problemas como el desarrollo manual inestable, el flujo de líquido desigual, el error excesivo en el ancho de línea y la dificultad para replicar el proceso. Para plantas de producción en masa, fabricación de MEMS y la industria de componentes optoelectrónicos y sensores, es la mejor opción que combina rendimiento, costo y fiabilidad.

Especificaciones

• Estructura: carcasa de SUS, WPP
• Especificaciones del motor: motor servo AC
• Velocidad del motor: 10-6000 RPM, con paleta de baja velocidad
• Precisión de velocidad: velocidad constante +/-1%
• Mecanismo de boquilla: 3 juegos de boquillas de pulverización líquida, módulo de boquilla de pulverización en el brazo
• Tamaño de oblea aplicable: 2”-8”
• Mecanismo de almohadilla: Resistente a cerámica/ácidos y álcalis, chaflán de 45 grados para prevenir la penetración de PR
• Planitud de la almohadilla: <10um
• Configuración del brazo robótico: Módulo de cinta transportadora de doble brazo
• Método de operación: Alimentación automática del brazo
• Sistema de control: Brazo móvil en eje X-Y, PLC + Panel táctil, módulo de control industrial (IPC + IO), 100 módulos de receta configurables
• Dispositivos de seguridad: Parada de emergencia EMO/bocina, protección de seguridad de operación automática, protección contra fugas de vacío de la almohadilla, detección de vacío

Configuración

• Motor rotativo del husillo
• Mecanismo de soporte de placa
• Sistema de control
• Dispositivos de seguridad
• Sistema de cojinetes líquidos/neumáticos
• Brazo robótico
• Arquitectura de posicionamiento de obleas

Opciones

• Arquitectura de Comunicación de Equipos SEMI
• Sistema de Monitoreo en Tiempo Real

Aplicaciones

• Adecuado para entornos de producción de alto volumen de obleas o sustratos de 2 pulgadas a 8 pulgadas.
• Ampliamente utilizado en la fabricación de semiconductores, optoelectrónica, MEMS y procesos de litografía de precisión.
• Especialmente crítico para la producción en masa y el control de calidad en las líneas de producción.