उपकरण की विशेषताओं में उच्च-एकरूपता जेट विकसित करने की तकनीक, एक स्वचालित रासायनिक मुआवजा प्रणाली, बंद-लूप समय और प्रवाह नियंत्रण, एक सील किया हुआ स्वच्छ कक्ष, एक रासायनिक प्रतिरोधी संरचना, और कई वेफर आकारों का समर्थन करने वाला मॉड्यूलर डिज़ाइन शामिल हैं।

M&R का फुली ऑटोमैटिक डेवलपर अपनी उच्च स्थिरता, मजबूत संगतता और व्यापक अनुकूलन क्षमताओं के लिए प्रसिद्ध है, जिससे यह बड़े पैमाने पर उत्पादन और उच्च-संगति अनुसंधान एवं विकास वातावरण में एक विशेष रूप से प्रतिस्पर्धी उपकरण बन जाता है। इसका सबसे बड़ा लाभ यह है कि यह सुनिश्चित करता है कि प्रत्येक वेफर को वेफर फीडिंग, विकास, धोने, सुखाने से लेकर वेफर निकासी तक पूरी तरह से स्वचालित प्रक्रिया के तहत समान परिस्थितियों में संसाधित किया जाता है, जिससे प्रक्रिया की स्थिरता और उपज में महत्वपूर्ण सुधार होता है। उन ग्राहकों के लिए जिन्हें सख्त लाइन चौड़ाई नियंत्रण और कम दोष दरों की आवश्यकता होती है, यह प्रक्रिया कैलिब्रेशन समय को प्रभावी ढंग से कम करता है और श्रम लागत को घटाता है।
 
M&R व्यापक फोटोरेसिस्ट संगतता प्रदान करता है, जो ग्राहक की प्रक्रिया की विशेषताओं के अनुसार जेट कोण, विकास गतिशीलता, और प्रवाह दर पैरामीटर में समायोजन की अनुमति देता है—एक स्तर की अनुकूलनता जो कई घरेलू और अंतरराष्ट्रीय उपकरणों द्वारा बेजोड़ है।
 
M&R के पूर्ण स्वचालित डेवलपर के लाभों में त्वरित कार्यान्वयन, अनुकूलित तकनीकी समर्थन, मरम्मत के भागों की स्थिर आपूर्ति, अधिक लचीले लागत और फोटोरेसिस्ट एकीकरण में परिपक्व अनुभव शामिल हैं। यह पूरी तरह से स्वचालित विकास मशीन अस्थिर मैनुअल विकास, असमान तरल प्रवाह, अत्यधिक लाइन चौड़ाई त्रुटि, और प्रक्रिया को दोहराने में कठिनाई जैसी समस्याओं को प्रभावी ढंग से हल करती है। मास उत्पादन संयंत्रों, MEMS निर्माण, और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक घटकों और सेंसर उद्योग के लिए, यह प्रदर्शन, लागत, और विश्वसनीयता को मिलाकर सबसे अच्छा विकल्प है।

विशेषताएँ

• फ्रेम: SUS आवास, WPP
• मोटर विनिर्देश: AC सर्वो मोटर
• मोटर गति: 10-6000 RPM, कम गति पैडल के साथ
• गति सटीकता: स्थिर गति +/-1%
• नोज़ल तंत्र: 3 सेट तरल स्प्रे नोज़ल, ऑन-आर्म स्प्रे नोज़ल मॉड्यूल
• लागू होने वाला वेफर आकार: 2”-8”
• पैड तंत्र: सिरेमिक/अम्ल और क्षारीय प्रतिरोधी, PR प्रवेश को रोकने के लिए 45-डिग्री चैंफर
• पैड समतलता: <10um
• रोबोट आर्म कॉन्फ़िगरेशन: डुअल-आर्म कन्वेयर मॉड्यूल
• ऑपरेशन विधि: स्वचालित आर्म फीडिंग
• नियंत्रण प्रणाली: X-Y अक्ष चलने वाला आर्म, PLC + टच पैनल, औद्योगिक नियंत्रण मॉड्यूल (IPC + IO), 100 कॉन्फ़िगर करने योग्य रेसिपी मॉड्यूल
• सुरक्षा उपकरण: EMO आपातकालीन रोक/बज़्ज़र, स्वचालित संचालन सुरक्षा सुरक्षा, पैड वैक्यूम लीक सुरक्षा, वैक्यूम पहचान

कॉन्फ़िगरेशन

• स्पिंडल रोटरी मोटर
• प्लेट बेयरिंग तंत्र
• नियंत्रण प्रणाली
• सुरक्षा उपकरण
• तरल/वायवीय बेयरिंग प्रणाली
• रोबोटिक हाथ
• वेफर स्थिति आर्किटेक्चर

विकल्प

• SEMI उपकरण संचार आर्किटेक्चर
• वास्तविक समय निगरानी प्रणाली

अनुप्रयोग

• 2-इंच से 8-इंच के वेफर्स या सब्सट्रेट के उच्च मात्रा उत्पादन वातावरण के लिए उपयुक्त।
• सेमीकंडक्टर निर्माण, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स, MEMS, और सटीक लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है।
• उत्पादन लाइनों पर मास उत्पादन और गुणवत्ता नियंत्रण के लिए विशेष रूप से महत्वपूर्ण।