مادة ضوئية | M&R تكنولوجيا النانو معدات عمليات أشباه الموصلات والضوء الإلكتروني
M&R تقدم حلولاً للمواد الحساسة للضوء تغطي تطبيقات الليثوغرافيا للأفلام الرقيقة والأفلام السميكة، داعمة مجموعة واسعة من متطلبات العمليات بما في ذلك تصنيع الدوائر المتكاملة، التعبئة المتقدمة، MEMS، والمكونات البصرية. من خلال تركيبات متنوعة من المواد الحساسة للضوء، تعالج هذه الحلول تشكيل الأنماط عالية الدقة، والهياكل ذات نسبة العرض إلى الارتفاع العالية، وعمليات رفع المعادن، وتصنيع الهياكل الدقيقة الدائمة، مما يساعد العملاء على إنشاء عمليات تصوير مستقرة وقابلة للتكرار من البحث والتطوير إلى الإنتاج الضخم.اختر M&R تكنولوجيا النانو لمعدات معالجة أشباه الموصلات والبصريات عالية الجودة وتصنيع مخصص موثوق.
مادة ضوئية
M&R تقدم حلولاً للمواد الحساسة للضوء تغطي تطبيقات الليثوغرافيا للأفلام الرقيقة والأفلام السميكة، داعمة مجموعة واسعة من متطلبات العمليات بما في ذلك تصنيع الدوائر المتكاملة، التعبئة المتقدمة، MEMS، والمكونات البصرية. من خلال تركيبات متنوعة من المواد الحساسة للضوء، تعالج هذه الحلول تشكيل الأنماط عالية الدقة، والهياكل ذات نسبة العرض إلى الارتفاع العالية، وعمليات رفع المعادن، وتصنيع الهياكل الدقيقة الدائمة، مما يساعد العملاء على إنشاء عمليات تصوير مستقرة وقابلة للتكرار من البحث والتطوير إلى الإنتاج الضخم.
تغطية العمليات والتطبيقات
تشمل مجموعة مواد كيم لاب الحساسة للضوء تطبيقات الطباعة الحجرية الرئيسية، بدءًا من المواد الحساسة للضوء ذات الدقة العالية للأفلام الرقيقة المستخدمة في تصنيع الدوائر المتكاملة (مثل سلسلة KL 5300)، إلى المواد الحساسة للضوء ذات الأفلام السميكة المتقدمة المصممة لتطبيقات النسبة العالية في عمليات التعبئة المتقدمة بما في ذلك الطلاء الكهربائي، والتدعيم، وTSV (سلسلة K-PRO™). تتضمن الحافظة أيضًا مواد ذات استقرار كيميائي وحراري ممتاز لصناعة MEMS والميكروفلويديات والمكونات البصرية (سلسلة SQ وسلسلة HARE SQ™).
بالإضافة إلى ذلك، تتوفر تركيبات مخصصة لعمليات رفع المعادن، مثل APOL-LO 3200 وسلسلة KL IR، مما يتيح تشكيل ملفات تحتية مستقرة وتكوين أنماط معدنية موثوقة. بشكل عام، تُستخدم هذه الحلول من المواد الحساسة للضوء على نطاق واسع في تصنيع الميكروإلكترونيات، والتغليف المتقدم، وMEMS، والصناعات البصرية، مما يسمح بالاختيار المرن وفقًا لمتطلبات العملية المحددة.
فئات المنتجات الأساسية والتطبيقات
-
مقاومات الأفلام الإيجابية:
- تطبيقات الأفلام الرقيقة: سلسلة KL 5300 مناسبة لتصنيع الدوائر المتكاملة، مع نطاق سمك الفيلم من 0.2 – 2.0 ميكرومتر ودقة تصل إلى 0.55 ميكرون. سلسلة KL 7000 هي مقاومة فيلم إيجابية صديقة للبيئة بدون PFAS.
- تطبيقات الأفلام السميكة: سلسلة K-PRO™ (5 – 25+ ميكرومتر) هي مواد فوتو ريسست إيجابية متقدمة مصممة للتغليف المتقدم، والتدعيم، وTSV، والت plating الكهربائي، وتتميز بحساسية عالية وتوافق مع المعادن. سلسلة KL 6000 (2.5 – 12 ميكرومتر) مناسبة أيضًا للتغليف المتقدم ويمكن تطويرها بدون PEB (الخبز بعد التعرض).
-
الأصباغ السلبية والأصباغ الخاصة:
- رفع: تم تصميم سلسلة APOL-LO 3200 لرفع المعادن، مما يخلق هياكل مائلة تسهل إزالة طبقة المعدن. سلسلة KL IR هي أصباغ عكسية للصورة، قابلة للتبديل بين الأوضاع الإيجابية والسلبية لتطبيقات الرفع.
- الهياكل الرأسية: يمكن لسلسلة KL NPR تشكيل هياكل جدارية رأسية بسمك طبقة واحدة يصل إلى 20 ميكرومتر، مع استقرار حراري ممتاز (تتحمل 130 درجة مئوية)، مناسبة لتقنية TSV، والطلاء الكهربائي، وحفر RIE.
- المواد الدائمة: سلسلة HARE SQ™ هي مادة فوتو ريزست سلبية قائمة على الإيبوكسي (2–100 ميكرومتر). نظرًا لمقاومتها الممتازة للمواد الكيميائية والميكانيكية والحرارية، فهي مناسبة لتصنيع الهياكل الدقيقة الدائمة مثل MEMS، والميكروفلويديات، وأدلة الموجات، وجدران البيكسل، ويمكن أن تحل محل SU-8.
- مقاوم شعاع الإلكترون: سلسلة HARP™ PMMA مصممة للطباعة الحجرية المباشرة بدقة عالية باستخدام شعاع الإلكترون وهي مناسبة لنمذجة النانو.
- تحميل
تحميل المنتجات الساخنة
العلامات
مادة ضوئيةمعدات عمليات أشباه الموصلات والأجهزة البصرية المخصصة المحترفة
تقدم شركة M&R نانو تكنولوجي معدات معالجة عالية الجودة مادة ضوئية وأشباه الموصلات والأجهزة البصرية المصممة لتطبيقات أشباه الموصلات المتقدمة والأجهزة البصرية والاختبار.تشمل مجموعة منتجاتنا أجهزة محاذاة القناع المفصلة، وأجهزة الطلاء الدورانية، والمطورات المصنعة في منشأتنا في تاويون، تايوان، مع قدرات أتمتة قوية.
نحن نركز على تقديم جودة مستقرة وتخصيص دقيق من خلال البحث والتطوير والتقنية المصغرة الخاصة بنا. وهذا يضمن أن كل نظام يلبي متطلبات العملية الصارمة مع الحفاظ على المتانة العملية، وانخفاض التكلفة، وارتفاع الكفاءة للمستخدمين النهائيين.
بالنسبة للمشترين العالميين، تقدم تقنية نانو M&R دعم تصنيع موثوق يبسط عملية التوريد. نحن نوفر تواصلًا سريعًا، وتكاملًا فعالًا للأتمتة، وصيانة مستمرة بعد البيع لمساعدة العملاء على إدخال معدات عمليات أشباه الموصلات والأجهزة البصرية في الإنتاج بنجاح.