سلم i-line | M&R تكنولوجيا النانو معدات عمليات أشباه الموصلات والضوء الإلكتروني

جهاز i-line stepper هو جهاز فوتوليثوغرافي يستخدم مصدر ضوء بطول موجي 365 نانومتر للتعرض، ويستخدم بشكل أساسي في عمليات أشباه الموصلات بدقة ميكرون وفي MEMS، وأجهزة الطاقة، وحقول أخرى. تشمل مزاياه الاستقرار العالي والتكلفة المنخفضة، مما يجعله مناسبًا للعمليات الناضجة وتطبيقات الطلاء الضوئي السميك.
يحقق جهاز الخطوة i-line نقل نمط عالي الدقة من خلال إسقاط نمط دائرة مصغر من قناع على سطح شريحة مغطاة بالمواد الحساسة للضوء. عادةً ما تكون دقة جهاز الخطوة i-line حوالي 350 نانومتر، مما يجعله مناسبًا للعمليات الناضجة وتصنيع الهياكل على مستوى الميكرون. بسبب الطول الموجي الأطول لمصدر الضوء المستخدم، يظهر نظام i-line أداءً ممتازًا من حيث سمك الطلاء الضوئي وتحمل انحناء الرقاقة، مما يجعله مناسبًا بشكل خاص لعمليات الطلاء الضوئي السميكة ورقائق أشباه الموصلات المركبة ذات الانحناء الكبير، مثل SiC و GaN. تم تجهيز المعدات بنظام تركيز تلقائي، ومستوى متعدد النقاط، ونظام محاذاة عالي الدقة لضمان جودة التعرض ودقة تداخل الأنماط متعددة الطبقات. مقارنةً بمعدات الطباعة الحجرية المتقدمة بالأشعة فوق البنفسجية العميقة، فإن أجهزة i-line أقل تكلفة، وأكثر استقرارًا في التشغيل، وأسهل في الصيانة، مما يجعلها مناسبة لمتطلبات الدقة المنخفضة إلى المتوسطة وتطبيقات الإنتاج عالية الحجم. بالإضافة إلى ذلك، تُستخدم خطوات i-line أيضًا بشكل متكرر في مجالات التعليم والبحث والتطوير نظرًا لسعرها المنخفض وعتبة التشغيل المنخفضة. بشكل عام، تواصل أجهزة i-line العمل دورًا مهمًا في عمليات التصنيع الناضجة، وهي مناسبة بشكل خاص للتطبيقات مثل أجهزة الطاقة، وMEMS، وأجهزة الاستشعار.اختر M&R تكنولوجيا النانو لمعدات معالجة أشباه الموصلات والبصريات عالية الجودة وتصنيع مخصص موثوق.