Stepper i-line | M&R CÔNG NGHỆ NANO Thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện tử

Một máy bước i-line là một thiết bị quang khắc sử dụng nguồn sáng có bước sóng 365nm để chiếu sáng, chủ yếu được sử dụng trong các quy trình bán dẫn có độ phân giải cấp micron và trong MEMS, thiết bị công suất, và các lĩnh vực khác. Những ưu điểm của nó bao gồm độ ổn định cao và chi phí thấp, làm cho nó phù hợp với các quy trình trưởng thành và ứng dụng photoresist dày.
Bộ bước i-line đạt được việc chuyển giao mẫu chính xác cao bằng cách chiếu một mẫu mạch thu nhỏ từ một mặt nạ lên bề mặt của một wafer được phủ photoresist. Độ phân giải của một máy bước i-line thường khoảng 350nm, phù hợp cho các quy trình trưởng thành và chế tạo cấu trúc cấp micron. Do bước sóng dài hơn của nguồn sáng được sử dụng, hệ thống i-line thể hiện hiệu suất xuất sắc về độ dày của lớp photoresist và khả năng chịu uốn cong của wafer, khiến nó đặc biệt phù hợp cho các quy trình photoresist dày và các wafer bán dẫn hợp chất có độ uốn cong đáng kể, chẳng hạn như SiC và GaN. Thiết bị được trang bị hệ thống lấy nét tự động, cân bằng nhiều điểm và hệ thống căn chỉnh độ chính xác cao để đảm bảo chất lượng phơi sáng và độ chính xác của sự chồng chéo mẫu nhiều lớp. So với thiết bị lithography tia cực tím sâu tiên tiến, máy in i-line có giá thành thấp hơn, hoạt động ổn định hơn và dễ bảo trì hơn, khiến chúng phù hợp cho các yêu cầu độ phân giải thấp đến trung bình và các ứng dụng sản xuất số lượng lớn. Ngoài ra, các bộ điều chỉnh i-line cũng thường được sử dụng trong giáo dục và các lĩnh vực R&D do giá thành thấp hơn và ngưỡng hoạt động thấp hơn. Tổng thể, các bước i-line tiếp tục đóng vai trò quan trọng trong các quy trình sản xuất trưởng thành, và đặc biệt phù hợp cho các ứng dụng như thiết bị điện, MEMS và cảm biến.Chọn M&R CÔNG NGHỆ NANO cho thiết bị quy trình bán dẫn & quang điện chất lượng cao và sản xuất tùy chỉnh đáng tin cậy.