paso a paso i-line | M&R TECNOLOGÍA NANO Equipos de Proceso Semiconductores & Optoelectrónicos

Un stepper i-line es un dispositivo de fotolitografía que utiliza una fuente de luz de longitud de onda de 365 nm para la exposición, utilizado principalmente en procesos de semiconductores de resolución a nivel micrón y en MEMS, dispositivos de potencia y otros campos. Sus ventajas incluyen alta estabilidad y bajo costo, lo que lo hace adecuado para procesos maduros y aplicaciones de fotoresistencias gruesas.
El stepper i-line logra una transferencia de patrón de alta precisión proyectando un patrón de circuito a escala reducida desde una máscara sobre la superficie de un wafer recubierto de fotoresistencia. La resolución de un stepper de línea i es típicamente de alrededor de 350 nm, adecuado para procesos maduros y la fabricación de estructuras a nivel micrón. Debido a la longitud de onda más larga de la fuente de luz utilizada, el sistema i-line exhibe un excelente rendimiento en términos de grosor de fotoresist y tolerancia a la deformación de obleas, lo que lo hace particularmente adecuado para procesos de fotoresist grueso y obleas de semiconductores compuestos con deformaciones significativas, como SiC y GaN. El equipo está equipado con un sistema de enfoque automático, nivelación multipunto y alineación de alta precisión para garantizar la calidad de la exposición y la precisión de la superposición de patrones multicapa. En comparación con el equipo avanzado de litografía ultravioleta profunda, los stepper i-line son menos costosos, más estables en operación y más fáciles de mantener, lo que los hace adecuados para requisitos de resolución baja a media y aplicaciones de producción de alto volumen. Además, los escaladores de línea i también se utilizan con frecuencia en los campos de la educación y la I+D debido a su menor precio y menor umbral de funcionamiento. En general, los stepper i-line continúan desempeñando un papel importante en los procesos de fabricación maduros y son particularmente adecuados para aplicaciones como dispositivos de potencia, MEMS y sensores.Elija M&R NANO TECHNOLOGY para equipos de proceso de semiconductores y optoelectrónicos de alta calidad y fabricación personalizada confiable.