i-line Stepper | M&R NANO TECHNOLOGY Semiconductor & Optoelectronic Process Equipment

Ang i-line stepper ay isang photolithography device na gumagamit ng 365nm wavelength na pinagmumulan ng liwanag para sa pagkakalantad, pangunahing ginagamit sa mga proseso ng semiconductor na may resolusyon ng micron-level at sa MEMS, mga power device, at iba pang mga field. Kasama sa mga bentahe nito ang mataas na katatagan at mababang gastos, na ginagawa itong angkop para sa mga mature na proseso at makapal na photoresist application.
Ang i-line stepper ay nakakamit ng mataas na katumpakan sa paglilipat ng pattern sa pamamagitan ng pag-project ng isang nakaskalang circuit pattern mula sa isang mask papunta sa ibabaw ng isang wafer na may photoresist na patong. Ang resolusyon ng isang i-line stepper ay karaniwang nasa paligid ng 350nm, angkop para sa mga mature na proseso at paggawa ng estruktura sa micron na antas. Dahil sa mas mahabang wavelength ng pinagmulan ng ilaw na ginamit, ang i-line system ay nagpapakita ng mahusay na pagganap sa mga tuntunin ng kapal ng photoresist at pagtanggap sa pagbaluktot ng wafer, na ginagawang partikular na angkop para sa mga proseso ng makapal na photoresist at mga compound semiconductor wafers na may makabuluhang pagbaluktot, tulad ng SiC at GaN. Ang kagamitan ay nilagyan ng autofocus, multi-point leveling, at high-precision alignment system upang matiyak ang kalidad ng exposure at ang katumpakan ng multi-layer pattern overlap. Kung ikukumpara sa mga advanced na deep ultraviolet lithography equipment, ang i-line steppers ay mas mura, mas matatag sa operasyon, at mas madaling mapanatili, na ginagawa silang angkop para sa mga kinakailangan ng mababa hanggang katamtamang resolusyon at mga aplikasyon ng mataas na dami ng produksyon. Bilang karagdagan, ang mga i-line steppers ay madalas ding ginagamit sa edukasyon at mga larangan ng R&D dahil sa kanilang mas mababang presyo at mas mababang operating threshold. Sa kabuuan, ang mga i-line steppers ay patuloy na may mahalagang papel sa mga mature na proseso ng pagmamanupaktura, at partikular na angkop para sa mga aplikasyon tulad ng mga power device, MEMS, at mga sensor.Piliin ang M&R NANO TECHNOLOGY para sa de-kalidad na kagamitan sa proseso ng semiconductor at optoelectronic at maaasahang customized na pagmamanupaktura.