Stepper i-line | M&R ÉQUIPEMENT DE PROCESSUS SEMI-CONDUCTEUR & OPTOÉLECTRONIQUE NANO TECHNOLOGY

Un stepper i-line est un dispositif de photolithographie qui utilise une source lumineuse à longueur d'onde de 365 nm pour l'exposition, principalement utilisé dans les processus de semi-conducteurs à résolution micrométrique et dans les MEMS, les dispositifs de puissance et d'autres domaines. Ses avantages incluent une grande stabilité et un faible coût, ce qui le rend adapté aux processus matures et aux applications de résine photosensible épaisse.
Le stepper i-line réalise un transfert de motif haute précision en projetant un motif de circuit réduit à partir d'un masque sur la surface d'une plaquette recouverte de photoresist. La résolution d'un stepper i-line est généralement d'environ 350 nm, adaptée aux processus matures et à la fabrication de structures au niveau micrométrique. En raison de la longueur d'onde plus longue de la source lumineuse utilisée, le système i-line présente d'excellentes performances en termes d'épaisseur de photoresist et de tolérance à la déformation des plaquettes, ce qui le rend particulièrement adapté aux processus de photoresist épais et aux plaquettes de semi-conducteurs composés avec une déformation significative, telles que le SiC et le GaN. L'équipement est équipé d'un autofocus, d'un nivellement multipoint et d'un système d'alignement haute précision pour garantir la qualité d'exposition et la précision du chevauchement des motifs multicouches. Comparé aux équipements de lithographie ultraviolette profonde avancés, les steppers i-line sont moins chers, plus stables en fonctionnement et plus faciles à entretenir, ce qui les rend adaptés aux exigences de résolution basse à moyenne et aux applications de production à volume élevé. De plus, les steppers i-line sont également fréquemment utilisés dans les domaines de l'éducation et de la R&D en raison de leur prix inférieur et de leur seuil de fonctionnement plus bas. Dans l'ensemble, les steppers i-line continuent de jouer un rôle important dans les processus de fabrication matures et sont particulièrement adaptés à des applications telles que les dispositifs de puissance, les MEMS et les capteurs.Choisissez M&R NANO TECHNOLOGY pour des équipements de processus semi-conducteurs et optoélectroniques de haute qualité et une fabrication personnalisée fiable.