Manual Mask Aligner

Manual Mask Aligner

商品編號 : AGVertical

機型特色

  • 專利平整校正機構
  • 高精度
  • 人性化操作介面
  • 適合生產單位使用

基本規格

  • Exposure light source:350W、500W、1KW、2KW
  • Substrats Size:2"~12" ,up to 24"
  • Uniformity:Manual >±3% and < ±5%
  • Alignment Accuracy:±1um、≦5um
  • Throughput:Manual ≧65wph

應用領域

應用範圍:

  • 半導體(Semiconductor)、微機電(MEMS)
  • 被動元件(Passive Component)、觸控面板(Touch Panel)
  • 顯示器(Display Panel)、發光二極體(LED)

選配功能

可選配雙面對準製程

  • Back Side IR (紅外線對準)
  • Back Side Visible (背面CCD/顯微鏡對準)