科毅科技股份有限公司

专注黄光制程的半导体与光电设备解决方案专家

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热板 - 热板是一种利用电加热组件将热能传导至表面的设备。
热板

热板是一种利用电加热元件将热能传导至表面的设备,主要用于加热、干燥、热压或熔接等工艺。热板具备温度控制与均匀加热功能,广泛应用于实验室、工业制造、塑胶加工。 在制程加热应用中,许多买主常面临温度不均、升温慢、控制不精准、设备稳定度不足等痛点,这些问题不仅影响产品良率,更可能造成制程重工与产线停机风险。尤其在黄光、半导体、精密加工与实验室应用中,热板已不只是「能加热就好」,而是必须兼顾精准、稳定与长时间可靠运作的关键设备。

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晶圆清洗机 - 4~12吋全自動、半自動、手動清洗機。
晶圆清洗机

晶圆清洗机适用于4吋~12吋晶圆以及其他方形或破片的吸附载台。使用清洗液,并配有液位可控的溶剂容器,使用溶剂置换抽屉。科毅晶圆清洗机内建真空产生器与自动排水装置,使用二流体喷嘴加强洗净效果,可选用纯氮气式的清洗吹干流程,程控器可加中/英文显示板,依用户需求提供非标准工作盘,可提供各式清洗应用模式。 晶圆清洗机能以高效率与高稳定性解决污染控制问题,是任何希望提升制程质量、良率与稳定度的单位不可或缺的关键设备。

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i-line Stepper步进机 - i‑line 步进机(i‑line stepper)的功能主要是进行光刻曝光。
i-line Stepper步进机

i‑line 步进机(i‑line stepper)是一种利用365奈米波长光源进行光刻曝光的设备,主要应用于微米级分辨率的半导体制程及MEMS、功率组件等领域。其优势在于稳定性高、成本较低,适合成熟制程和厚光阻应用。 i‑line...

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曝光机驱动器 - 曝光机高性能驱动器,搭配马达精准运作
曝光机驱动器

曝光机的驱动器负责接收控制系统指令并精准驱动马达,是平台运动控制的关键组件。其高分辨率电流控制与高速闭回路运算,可确保平台在加减速、微位移与高速扫描时维持平滑稳定的动态表现,提升对位与曝光精度。 科毅科技的驱动器支持多轴同步运动,可同时协调...

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曝光机马达 - 曝光机专用高精度马达,影像对位与平台传动的核心动力
曝光机马达

曝光机专用高精度马达是影像对位与平台传动的核心动力。马达是曝光机中的整体传动系统的核心组件,负责驱动晶圆平台、对位模块与精密移动机构,其性能直接影响曝光质量、线宽均匀度与整体制程稳定性。因此,马达必须具备...

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光罩 - 科毅科技提供高分辨率、低缺陷的光罩制作服务
光罩

科毅科技提供高分辨率、低缺陷的光罩制作服务,支持 MEMS、光电、传感器与半导体等微影制程需求。采用高平坦度基板与高质量铬膜,确保曝光图样能精准转移至光阻层,协助客户提升曝光成功率、缩短研发与试产周期。无论应用于研发验证、原型制作或小量试产,皆能提供稳定可靠的制程支持。 在材料与制作质量上,科毅科技可依据客户版图与制程需求,选用石英或玻璃等高平坦度基板,搭配具备良好光学稳定性的铬膜(Cr)或专用光学材料,支持从微米级到奈米级线宽的图样转移。同时提供完整的前后段配套服务,包含版图检查、数据转换、尺寸验证与瑕疵检测,让客户能安心专注于制程开发与量产导入。快速交期与稳定质量,使科毅成为众多学研单位与产业客户长期合作的光罩服务伙伴。

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光阻 - 我们代理KemLab 广泛的光阻系列产品
光阻

科毅科技结合对黄光微影设备与制程条件的理解,提供涵盖薄膜至厚膜应用的光阻解决方案,支持IC制造、先进封装、微机电系统(MEMS)与光学组件等多元制程需求。透过不同光阻配方设计,可对应高分辨率图形、高深宽比结构、金属举离与永久性微结构制作,协助客户在研发与量产阶段建立稳定且可重现的光刻制程。

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压力传感器 - 标准压力传感器模块
压力传感器

科毅公司提供的压力传感器为专门应用于曝光机的关键零组件,主要用于实时监测曝光机真空腔体与气压环境,确保曝光腔室在稳定压力条件下运作。透过高精度、连续性的压力监测,可有效避免因腔体压力波动所导致的曝光不良、线宽偏移或制程稳定性下降,是维持微影制程质量与良率的重要基础组件。

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改机服务 - 改机服务是针对客户已使用多年的旧设备进行升级改造
改机服务

科毅公司提供的改机服务是针对客户已使用多年的旧设备进行升级改造的具备成本效益且立即见效的产线强化方案。这项服务的核心目的在于解决因设备老化、关键零件停产所导致的制程稳定性与停机风险问题,从而确保产线能够连续运作并维持既有的生产效率,同时帮助客户延长设备的使用寿命,避免高昂的设备汰换成本。 透过我们的专业改造,设备在连续运转测试中证实表现稳定,成功降低了维修频率与维修成本,并大幅降低了设备的停机风险,维持了产线产能。科毅的改机服务是一种高效、低风险的策略,能让老旧设备重获新生,是客户在追求产线连续稳定运作时,兼顾成本效益的最佳选择。

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移机规划 - 移机服务是对精密设备搬迁所设计的高度专业化工程服务
移机规划

科毅公司提供的移机服务,是专为半导体等高科技产业的高精度设备所设计的专业工程服务。服务的核心不仅是将设备从...

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设备整合规划 - 科毅公司的设备整合服务是全方位且深入的制程环境规划与建置服务
设备整合规划

科毅科技提供的设备整合服务,是专门针对半导体晶圆制程领域,特别是黄光制程所设计的全方位规划与建置解决方案。这项服务的核心是科毅累积超过二十年的丰富技术与实务经验,旨在帮助客户打造出高效能、高稳定度且具备未来扩充性的制程环境,确保产线能同步满足现阶段需求与未来发展。

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科毅简介

科毅科技股份有限公司是台湾专业服务半导体、光电子和先进制造市场制造商。科毅自西元2000年起开始提供专业的曝光机,黄光,涂布机,旋转涂布机,显影机,光罩...等服务. 拥有超过25年的专业经验, 科毅总是可以达成客户各项品质要求。