科毅科技股份有限公司 - 專注黃光製程的半導體與光電設備解決方案專家

科毅提供專業曝光機, 黃光, 塗佈機, 旋轉塗佈機, 顯影機, 光罩製造與服務(台灣) | 科毅科技股份有限公司

科毅是台灣專業曝光機, 黃光, 塗佈機, 旋轉塗佈機, 顯影機, 光罩製造商(成立於西元2000年)擁有超過25年的服務經驗，M&R專注於客製化與自動化的黃光製程解決方案，提升製造效率與流程穩定性。

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專注黃光製程的半導體與光電設備解決方案專家

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熱板 - 熱板是一種利用電加熱元件將熱能傳導至表面的設備。
熱板

熱板是一種利用電加熱元件將熱能傳導至表面的設備，主要用於加熱、乾燥、熱壓或熔接等工藝。熱板具備溫度控制與均勻加熱功能，廣泛應用於實驗室、工業製造、塑膠加工。 在製程加熱應用中，許多買主常面臨溫度不均、升溫慢、控制不精準、設備穩定度不足等痛點，這些問題不僅影響產品良率，更可能造成製程重工與產線停機風險。尤其在黃光、半導體、精密加工與實驗室應用中，熱板已不只是「能加熱就好」，而是必須兼顧精準、穩定與長時間可靠運作的關鍵設備。

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晶圓清洗機 - 4~12吋全自動、半自動、手動清洗機。
晶圓清洗機

晶圓清洗機適用於4吋~12吋晶圓以及其他方形或破片的吸附載台。使用清洗液，並配有液位可控的溶劑容器，使用溶劑置換抽屜。科毅晶圓清洗機內建真空產生器與自動排水裝置，使用二流體噴嘴加強洗淨效果，可選用純氮氣式的清洗吹乾流程，程式控制器可加中/英文顯示板，依使用者需求提供非標準工作盤，可提供各式清洗應用模式。 晶圓清洗機能以高效率與高穩定性解決污染控制問題，是任何希望提升製程品質、良率與穩定度的單位不可或缺的關鍵設備。

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i-line Stepper步進機 - i‑line 步進機（i‑line stepper）的功能主要是進行光刻曝光。
i-line Stepper步進機

i‑line 步進機（i‑line stepper）是一種利用365奈米波長光源進行光刻曝光的設備，主要應用於微米級解析度的半導體製程及MEMS、功率元件等領域。其優勢在於穩定性高、成本較低，適合成熟製程和厚光阻應用。 i‑line...

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曝光機驅動器 - 曝光機高性能驅動器，搭配馬達精準運作
曝光機驅動器

曝光機的驅動器負責接收控制系統指令並精準驅動馬達，是平台運動控制的關鍵元件。其高解析度電流控制與高速閉迴路運算，可確保平台在加減速、微位移與高速掃描時維持平滑穩定的動態表現，提升對位與曝光精度。 科毅科技的驅動器支援多軸同步運動，可同時協調...

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曝光機馬達 - 曝光機專用高精度馬達，影像對位與平台傳動的核心動力
曝光機馬達

曝光機專用高精度馬達是影像對位與平台傳動的核心動力。馬達是曝光機中的整體傳動系統的核心元件，負責驅動晶圓平台、對位模組與精密移動機構，其性能直接影響曝光品質、線寬均勻度與整體製程穩定性。因此，馬達必須具備高精度定位、超低震動、高重現性與優異動態響應能力。 科毅科技所使用的高精度馬達採用高解析度回授編碼器（Encoder），能達到奈米級定位解析度，確保在曝光過程中平台移動平滑、精準，不會因機械位移誤差而影響圖樣成像品質。其內部採用低齒槽轉矩設計，可有效降低震動與速度波動，使平台移動更一致，對高階微影製程極為重要。

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光罩 - 科毅科技提供高解析度、低缺陷的光罩製作服務
光罩

科毅科技提供高解析度、低缺陷的光罩製作服務，支援 MEMS、光電、感測器與半導體等微影製程需求。採用高平坦度基板與高品質鉻膜，確保曝光圖樣能精準轉移至光阻層，協助客戶提升曝光成功率、縮短研發與試產週期。無論應用於研發驗證、原型製作或小量試產，皆能提供穩定可靠的製程支援。 在材料與製作品質上，科毅科技可依據客戶版圖與製程需求，選用石英或玻璃等高平坦度基板，搭配具備良好光學穩定性的鉻膜（Cr）或專用光學材料，支援從微米級到奈米級線寬的圖樣轉移。同時提供完整的前後段配套服務，包含版圖檢查、資料轉換、尺寸驗證與瑕疵檢測，讓客戶能安心專注於製程開發與量產導入。快速交期與穩定品質，使科毅成為眾多學研單位與產業客戶長期合作的光罩服務夥伴。

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光阻 - 我們代理KemLab 廣泛的光阻系列產品
光阻

科毅科技結合對黃光微影設備與製程條件的理解，提供涵蓋薄膜至厚膜應用的光阻解決方案，支援IC製造、先進封裝、微機電系統（MEMS）與光學元件等多元製程需求。透過不同光阻配方設計，可對應高解析度圖形、高深寬比結構、金屬舉離與永久性微結構製作，協助客戶在研發與量產階段建立穩定且可重現的光刻製程。

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壓力傳感器 - 標準壓力傳感器模組
壓力傳感器

科毅公司提供的壓力傳感器為專門應用於曝光機的關鍵零組件，主要用於即時監測曝光機真空腔體與氣壓環境，確保曝光腔室在穩定壓力條件下運作。透過高精度、連續性的壓力監測，可有效避免因腔體壓力波動所導致的曝光不良、線寬偏移或製程穩定性下降，是維持微影製程品質與良率的重要基礎元件。

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改機服務 - 改機服務是針對客戶已使用多年的舊設備進行升級改造
改機服務

科毅公司提供的改機服務是針對客戶已使用多年的舊設備進行升級改造的具備成本效益且立即見效的產線強化方案。這項服務的核心目的在於解決因設備老化、關鍵零件停產所導致的製程穩定性與停機風險問題，從而確保產線能夠連續運作並維持既有的生產效率，同時幫助客戶延長設備的使用壽命，避免高昂的設備汰換成本。 透過我們的專業改造，設備在連續運轉測試中證實表現穩定，成功降低了維修頻率與維修成本，並大幅降低了設備的停機風險，維持了產線產能。科毅的改機服務是一種高效、低風險的策略，能讓老舊設備重獲新生，是客戶在追求產線連續穩定運作時，兼顧成本效益的最佳選擇。

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移機規劃 - 移機服務是對精密設備搬遷所設計的高度專業化工程服務
移機規劃

科毅公司提供的移機服務，是專為半導體等高科技產業的高精度設備所設計的專業工程服務。服務的核心不僅是將設備從...

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設備整合規劃 - 科毅公司的設備整合服務是全方位且深入的製程環境規劃與建置服務
設備整合規劃

科毅科技提供的設備整合服務，是專門針對半導體晶圓製程領域，特別是黃光製程所設計的全方位規劃與建置解決方案。這項服務的核心是科毅累積超過二十年的豐富技術與實務經驗，旨在幫助客戶打造出高效能、高穩定度且具備未來擴充性的製程環境，確保產線能同步滿足現階段需求與未來發展。

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科毅簡介

科毅科技股份有限公司是台灣專業服務半導體、光電子和先進製造市場製造商。科毅自西元2000年起開始提供專業的曝光機, 黃光, 塗佈機, 旋轉塗佈機, 顯影機, 光罩...等服務. 擁有超過25年的專業經驗, 科毅總是可以達成客戶各項品質要求。